La plaque à ventouse en céramique Oxalumina est un produit révolutionnaire dans le domaine des systèmes de manipulation de précision. Il est fabriqué en céramique d'alumine α (α-Al₂O₃) d'une pureté ≥99,9 %, combinée à une structure poreuse conçue pour obtenir une répartition optimale du vide. Par rapport aux ventouses traditionnelles en métal ou en polymère, cette solution céramique élimine totalement le risque de contamination par des particules, tout en étant capable de résister à des températures extrêmes (1750°C en fonctionnement continu) et aux environnements corrosifs. Sa microstructure unique (taille de pores uniforme de 2 à 5 μm, densité de 3,89 g/cm³) garantit une planéité submicronique (rugosité de surface Ra≤0,1 μm), ce qui en fait la seule plate-forme à ventouse professionnelle capable de gérer des plaquettes semi-conductrices de 300 mm avec une précision d'aspiration de ± 0,1 μm.
1. Percée dans la performance des matériaux
Stabilité thermique : aucune déformation aux cycles de choc thermique à 800°C, et une durée de vie 5 fois supérieure à celle des ventouses en alliage (environnement de process haute température).
Résistance chimique : la perte de poids sur 1 an d'immersion dans l'acide sulfurique à 30 % est inférieure à 0,01 g, adaptée au fonctionnement de l'électrolyte de la batterie et au processus de dépôt chimique en phase vapeur.
Performances d'isolation : l'intensité du champ de claquage atteint 40 kV/mm, garantissant un fonctionnement sûr dans la chambre de gravure au plasma.
2. Innovation en matière de conception technique
Contrôle de la porosité : 40 % de porosité est obtenue grâce au processus de moulage par injection de gel, et la structure de la paroi des pores de 1 à 3 μm empêche les pièces ultra fines (≤ 50 μm) de l'adsorption et de la déformation.
Architecture intelligente : le capteur de température intégré prend en charge la gestion thermique en temps réel de -196 ℃ à un environnement à très haute température.